2023-08-25 09:48:25
你知道芯片生產(chǎn)為什么要用到潔凈室嗎？芯片潔凈室又有哪些要求？近年來新能源、半導(dǎo)體的熱度總是居高不下，談?wù)撟顝V泛的當(dāng)屬芯片的生產(chǎn)，同時隨著下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，潔凈室的熱度也在不斷上升，那么作為高端制造業(yè)的核心，芯片的生產(chǎn)不僅精細(xì)而且困難，除了材料、設(shè)備、工藝以外，生產(chǎn)環(huán)境也至關(guān)重要，生產(chǎn)過程中必須要保持完全無菌，而潔凈室便可滿足芯片生產(chǎn)的環(huán)境需求。
潔凈室有萬級、千級、百級等，不同等級的潔凈室潔凈度也不相同， 一級潔凈室主要用于制造集成電路的微電子行業(yè)，對集成電路的精度要求亞微米；十級潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體行業(yè)；百級潔凈度可用于醫(yī)藥行業(yè)的無菌制造技術(shù)，這種潔凈室能應(yīng)用于移植和集成器的制造以及醫(yī)療手術(shù)室，千級潔凈室主要用于生產(chǎn)精品光學(xué)產(chǎn)品，還用于測試、裝配飛機(jī)陀螺儀、裝配精品微型軸承等。萬級潔凈室應(yīng)用相對廣泛，可用于液壓設(shè)備以及氣壓設(shè)備的組裝，也廣泛用于食品、日化等潔凈度要求相對不高的行業(yè)。
此外，對于芯片潔凈室還有以下幾種要求：
一、空氣處理系統(tǒng)
為了保證工作人員以及產(chǎn)品質(zhì)量，芯片潔凈室需要空氣處理系統(tǒng)，以保證車間內(nèi)空氣的潔凈度?？?/span>氣處理系統(tǒng)主要由空氣過濾器、送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)組成。其中空氣過濾器是重要的組成部分，可以有效地去除空氣中的顆粒物和微生物。
二、室內(nèi)裝修
在芯片潔凈室裝修中，地面、墻面、天花板的裝修很重要，因為這些區(qū)域易受到污染。地面應(yīng)選用耐磨、防靜電、易清潔的材料，如自流平地坪或PVC地板;潔凈度要求高的還需用到高架地板，墻面和天花板應(yīng)選用耐腐蝕、防靜電、易清潔的材料。
三、設(shè)備、電器的布局
在芯片潔凈室的裝修中，燈具和插座的布局也很重要。為了避免灰塵、微生物等污染物進(jìn)入車間，應(yīng)將這些設(shè)備安裝在天花板上或墻壁高度以上，并且應(yīng)選擇防靜電、不掉粉的材料。門窗、潔凈工作臺等設(shè)施也需要特別考慮。門窗必須采用密封性能好、易清潔的材料，如不銹鋼門窗;潔凈工作臺應(yīng)選用不掉粉、耐腐蝕、易清潔的材料。
四、車間內(nèi)部環(huán)境
1、垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了；
2、與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa；
3、補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和；
4、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
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