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1、潔凈度 
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。 
2、壓差 
對(duì)于大部分無(wú)塵車間而言，是為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力;相通無(wú)塵車間之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。 
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。 
3、溫濕度 
常規(guī)是溫度22±2度，濕度55±5%。 
以上就是關(guān)于千級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)的介紹，歡迎與科銳特聯(lián)系哦
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